采用环保制冷剂
，，节能环保；

超高精度静压气浮轴承，
，无润滑油
；

超低振动
，，
，轴承零功耗
，
，，，无噪运行；

变频驱动、、自动调节、、、运行安全可靠；

第三代CCS TOUCH及I-VISN系统
，，，，智能控制，，，应用灵活。。。